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LS-XT系列溅射镀膜系统


LS-XT系列溅射镀膜系统是赉晟公司专为稀土钕铁硼行业晶界扩散退火工艺(Grain Boundary Diffusion Processing ,GBDP)表面镀镝/铽膜而设计制造的专用镀膜设备。和采用传统平面磁控溅射技术的设备相比,该系列设备具有靶材利用率高,生产节拍快,产能调节灵活等优势。可以满足不同产能,不同镀层需求企业的研发、打样、批量生产的需求。



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